液晶掩模的纳秒脉冲激光烧蚀加工研究

液晶掩模的纳秒脉冲激光烧蚀加工研究，陈飞，张朝阳，为了提高激光掩模加工的灵活性和柔性化，在激光的传输光路中利用液晶掩模对光束能量进行调制，使通过的激光成为与显示图形成反相