变形光学读出焦平面阵列的设计优化和性能分析

由于微加工技术，光学读出焦平面阵列（FPA）通常具有弯曲的悬臂。 这种弯曲的形态对光学灵敏度有很大的负面影响，这是影响成像性能的关键因素。 在这项研究中，提出了一种光学读数FPA，其带有加劲肋支撑的像素，以减少变形。 已经进行了理论分析以优化结构。 基于此，制造了具有加劲肋支撑的像素的FPA。 结果表明，相对于没有加强筋的曲率半径和光学灵敏度，其曲率半径和光学灵敏度可以分别增加5倍和5.74倍。 已经实现了更好的热成像。