集成超材料吸收体增强非冷却红外焦平面阵列的性能

这封信介绍了集成了超材料吸收剂（MMA）的红外（IR）焦平面阵列（FPA），以增强其性能。 采用玻璃基板，通过聚酰亚胺表面牺牲Craft.io在其上制造双材料悬臂梁阵列作为热敏像素，以允许从基板背面进行光学读出。 而红外波从正面辐射到FPA上，与以前的工作相比，避免了由硅衬底引起的能量损失。 这种结构还通过在SiNx结构层的顶部引入一层周期性的方形谐振器来促进MMA的集成，从而形成了以金镜作为接地层的金属/电介质/金属叠层。 对分别使用MMA和普通SiNx作为吸收剂的FPA进行了对比实验。 通过对吸收体的评估以及两种FPA的成像结果，验证了性能的提高