医疗应用新突破 MEMS压力传感器创新设计

日前，一支来自新加坡一家微电子研究所ASTAR的团队制作出一种小型的传感器，这种传感器将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起，从而使得MEMS压力传感器可以更稳定耐用，适用于医疗器械。