MEMS压力传感器原理及应用详解

目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。

一种基于MEMS技术的压力传感器芯片设计.pdf

硅压力传感器是利用半导体硅的压阻效应制成, 其品质的优劣主要决定于敏感结构的设计与制作工艺. 文章从硅压力传感器敏感薄膜的选择、敏感电阻条的确定以及敏感电阻位置的选取, 设计了一种方案并进行了实验验证

MEMS压阻式压力传感器倒装焊封装的研究和发展.pdf

介绍了倒装焊接技术在MEMS压阻式压力传感器封装领域的优势和目前研制的压力敏 感芯片的倒装焊的关键技术。根据封装结构设计和基板材料的不同，详细论述了国内外MEMS压 阻式压力传感器倒装焊技术的研究成果

选型表：MEMS惯性传感器.pdf

选型表：MEMS惯性传感器

mems MEMS加速度传感器致力汽车主安全防患未然

随着移动互联网和物联网的快速发展，MEMS微机电系统产业迎来了重大发展机遇。在致力于防患未然的汽车主动安全领域，ESC（车身稳定系统）、ABS（防抱死系统）、EPB（电子驻车系统）、TPMS（胎压监测

传感技术中的mems压力传感器

硅直接键合技术广泛应用于压力传感器和加速度计，是一种制备密封腔的重要的工艺手段。硅-硅直接键合技术制备压力传感器具有很大的优势：成本低，应力小，性能高，可以大规模生产。压力传感器分为两种，一种是基于压

欧姆龙 D6F-A5-A6 MEMS流量传感器手册.pdf

欧姆龙 D6F-A5-A6 MEMS流量传感器手册pdf,实现小型化最大50L/min流量域的高精度传感性能。可对10~50L/min的质量流量进行高精度检测，实现长30mmX宽78mmX高30mm的

飞思卡尔基于MEMS的传感器技术

微机电系统（MEMS）是飞思卡尔应用于加速度和压力传感器的技术。基于MEMS的传感器产品有一个接口，通过该接口可以感应、处理和/或控制周围环境。

传感技术中的分析MEMS压力传感器的原理设计与应用

MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 　　MEMS技术的发展开辟了一个全

基于MEMS技术的风速和风向测量传感器设计

　　风速及风向的测量是气象观测中重要的一环。风速风向可以基于流体力学原理、热学原理、声学原理和仿生学原理来测量。热式测风仪基于风对热体的对流作用来测量风速和风向，其存在一个精密的热源，通过把两对相对的

传感技术中的Sensirion股份公司推出第三代MEMS流量传感器

瑞士微型数字传感器主要生产商——Sensirion股份公司推出第三代MEMS流量传感器，用于对微流体系统的流量进行数字化测量。        通过使用OEM（原始设备制造商）组件，原有微流体产品范围得

CMOS-MEMS惯性传感器的原理和应用.pdf

资料介绍 主要内容：MEMS和CMOS-MEMS技术、薄膜CMOS-MEMS、DRIE CMOS-MEMS、流程开发和改进、集成CMOS-MEMS惯性传感器、MEMS惯性传感器：应用。

谐振式MEMS温度传感器设计.pdf

谐振式MEMS温度传感器设计pdf,谐振式MEMS温度传感器设计

基于洛伦兹力的MEMS磁传感器设计及制作

由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响，因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检

型压力传感器

XGZP 型压阻式压力敏感元件是一款适用于生物医学、汽车电子等领域的压力传感器，其核心部分是一颗利用 MEMS 技术加工的硅压阻式压力敏感芯片。该压力敏感芯片由一个弹性膜及集成在膜上的四个电阻组成，四

可用于血压计的LWP040压力传感器规格书

LWP040 系列压力传感器是一款全硅结构 MEMS 压力传感器，外部环境温度-20℃～85℃，可以实现压力 0～40kPa 的精确测量，并与输出电压呈现较好的线性关系。该系列压力传感器采用开环检测，

MEMS红外传感器电子封装报告

摘要 传感器半导体技术的开发成果日益成为提高传感器集成度的一个典型途径，在很多情况下，为特殊用途的MEMS（微机电系统）类传感器提高集成度的奠定了坚实的基础。 本文介绍一个MEMS光热传感器的封装结构

MP23AB02B MEMS音频传感器

MP23AB02B 是一款采用超薄传感部件制成的小型低功耗麦克风。用于声波检测的音频传感部分则是采用了微电子机械系统(MEMS)传感器件专用的硅微机械加工工艺所制成。

MEMS陀螺仪传感器.ppt

介绍MEMS陀螺仪传感器的工作原理，功能实现

传感器--MEMS封装技术

详细介绍了MEMS传感器及其封装技术，很详细的资料！

传感技术中的新型MEMS气流传感器

微电机系统(MEMS)使探测器中的传感元件尺寸缩小，从而降低了成本、提高了精度并提供可媲美半导体的集成度。不幸的是，传感器所要探测的世界并不因其尺寸缩小而缩小，较小的MEMS器件更容易被灰尘和其它微粒

传感技术中的Sensirion第三代MEMS流量传感器用于微流体系统数字化测量

瑞士微型数字传感器生产商Sensirion公司推出第三代MEMS流量传感器，用于对微流体系统的流量进行数字化测量。  　　新型OEM传感器通过使用OEM组件，原有微流体产品范围得到扩大。组件价格优惠、

MEMS智能传感器在储煤场物联网系统的应用

介绍了MEMS技术的智能传感器在煤场物联网系统中的应用情况,MEMS传感器有着体积小和低功耗等特点,它与智能传感器技术的结合在传感器市场中占有越来越多的份额。着重介绍了煤场物联网的基本拓扑架构,以及各

模拟技术中的探究MEMS压力传感器及其应用

引言     MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微

_基于MEMS惯性传感器的人体姿态和位移检测

随着人们生活质量的提高和科技水平的发展，智能化和健康云等概念提上了日程。基于惯性传感器的人体运动识别系统具有便于携带、成本低、不受时间和 场景限制等优点，在体感游戏和健康监控等领域受到了广泛的关注。本

2009年MEMS惯性传感器现状及2010年趋势

2009年MEMS惯性传感器现状及2010年趋势和MEMS惯性传感器的研究单位制造

MEMS传感器市场空间到底有多大？

随着传感器应用的领域不断拓展，传感器市场将持续保持高速增长，特别是可穿戴设备、汽车电子、医疗、物联网等将成为MEMS传感器的主要增长点。

传感技术中的MEMS传感器概念、分类等基础知识详解

关于MEMS传感器的基础知识，你了解多少？本文将从MEMS传感器的概念、制造及工艺、MEMS传感器与传统传感器的区别、MEMS传感器的分类几大部分详解，帮助初识MEMS传感器的读者快速了解这一重要器件

嵌入式系统/ARM技术中的基于MEMS压力传感器的个人导航仪

压力传感器 是指将压力转换为电信号输出的传感器。压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件（或应变计）组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变，然后由位移敏感元件或应变计

传感技术中的基于MEMS姿态传感器温度补偿方法

导读：基于MEMS姿态传感器主要用于载体姿态的调整和倾角的检测，但是由于工作环境温度的改变，就会导致测量精度的变化，在一些高精度检测的要求下，则失去其检测的效果，所以必须采取相应措施来消除或者减少随温