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第8章硬件技术-《物联网技术基础教程》4.pptx
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第
8
章
硬件技术
学习任务
微电子机械系
统
(
MEMS
)
移动设备内置传感
器硬件平台
数字化传感器及网
络接口技术
Click to add title i
n here
1
2
3
本章主要涉及
:
8.1
微电子机械系统(
MEMS
)
•
微电子机械系统(
Micro Electro Mechanical
System
)简称
MEMS
,是集微型机构、
微型传
感器、微型执行器
以及信号处理控制
电路、接口、
电源等于一体的机
械装置。
•
它将自然界各种物
理量,如声、光、
压力、加速度、
温度以及生物、化
学物质的浓度信息
转化为电信号,
并将电信号送入微
处理器得到指令,
指令被随即发
送到微执行器上,
对自然界的变化做
出相应反应。
8.1.1 MEMS
简介
•
MEMS
在美国称为微机电系
统,在日本被称为
微
机械,在欧洲被
称为微系统,
•
它是指可批量制
作的,集微型机
构、微型传感器、
微型执行器以及
信号处理和控制
电路、直至接口、
通信和电源等于
一体的微型器件
或系统。
微电子机械系统(
MEMS
)
8.1.1 MEMS
简介
•
微电子机械系统不
但能够采集、处理
与发送信息
或指令,还能够按
照所获取的信息自
主地或根据
外部指令采取行动
。
•
它用微电子技术和
微加工技术(包括
硅体微加工、
硅表面微加工、
LIGA
和晶片键合等技术
)相结
合的制造工艺,制
造出各种性能优异
、价格低廉、
微型化的传感器、
执行器、驱动器和
微系统。
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