激光在材料加工领域扮演着重要角色,其独特的性质使得它在微细加工、表面热处理、焊接等多个领域有着广泛的应用。激光的产生基于受激辐射原理,当高能级的原子受到特定能量的光子刺激时,会发射出与入射光子相同频率、方向和偏振状态的光子,这一过程构成了激光。早期的激光器如红宝石激光器,通过激活物质(如Cr3+)在三能级系统中实现激光发射。
在超微细加工方面,激光技术展示了卓越的潜力。例如,通过激光分解有机金属化合物可形成金属膜层,用于半导体和集成光学的制造;激光退火技术能够修复受离子轰击损伤的半导体基片,恢复其晶格结构;激光外延再结晶技术使非晶态薄膜重新结晶,优化材料性能;激光掺杂技术精确控制半导体的n型和p型区域,实现np+和pp+结构,改善器件性能;激光合金化则在硅片上形成高电导的欧姆接触,提升半导体电路性能;激光互连技术简化了集成电路的设计和制造,尤其是使用毫微秒脉冲激光形成的低电阻连接;激光图形发生器可以直接制作集成电路掩模原版,提高制作精度;此外,激光技术在集成电路的准确定位中也起到关键作用,尤其是在高精度测量和焊接过程中。
进入飞秒激光时代,激光脉冲的时域宽度被压缩到极短,允许更精细的加工。飞秒激光的特性包括极高的峰值功率和超短脉宽,这使得它能实现非线性吸收,避免热效应,非常适合对透明材料进行微加工。飞秒激光与材料的相互作用机制包括超快的光电化学反应、选择性吸收和超快的材料去除,使得在生物医学、光学器件和微电子等领域有广泛应用,如微孔打孔、精密图案雕刻等。
随着科技的进步,激光加工技术将持续发展,特别是在微纳米尺度的精密加工、新型材料加工以及生物医学应用等方面。未来,激光加工有望实现更高精度、更复杂结构的制造,推动信息技术、能源科技、生命科学等多领域的发展。因此,加强激光加工的应用研究和技术创新,对于提升我国制造业的竞争力至关重要。