Matlab环境下显微镜快速自动聚焦的实现_毕业论文.pdf

目录

摘 要......................................................................................................................... III

ABSTRACT................................................................................................................. V

第一章 绪论.......................................................................................................... - 9 -

1.1 自动聚焦光学成像原理..............................................................................................- 3 -

1.2 焦深，景深含义.......................................................................................................... - 4 -

1.3 自动聚焦的发展现状..................................................................................................- 7 -

3.1 机台设计以及操作....................................................................................................- 19 -

3.2 光源选取以及实验注意步骤.....................................................................................- 22 -

3.3 实验中图像的采集以及镜头参数............................................................................- 23 -

第四章 Matlab 环境下反差式快速自动聚焦的实现........................................ - 27 -

4.1 实验流程设计............................................................................................................ - 27 -

4.2 改进的清晰度评价函数............................................................................................- 28 -

4.3 基于 MTALAB 的 Gaussian 曲线拟合方法........................................................... - 36 -

4.4 实验结果..................................................................................................................... - 42 -

第五章 总结与展望............................................................................................................ - 55 -

参考文献.............................................................................................................. - 58 -

为操作，它是光学成像系统的内部处理，通过硬件与软件有效结合，

能自动调节每个参数，比如物距、像距、能准确的计算成像的图片

的清晰度函数值以及成像的具体位置，使最后成像的照片质量最优、

分辨率最高。换一句话说，聚焦目的使物体被摄在感光芯片平面上

成清晰图像。

本文主要是通过显微镜拍摄晶圆图像采用 Matlab 程序来实现自

动聚焦技术。主要工作如下：

化传统清晰度评价函数，使计算的图像的清晰度评价函数值准确性

位置为原点取两边相同步长对应的位置，在这三个新的位置拍摄 3

张照片，再使用清晰度评价函数来计算出这三个点对应的清晰度函

数值，最后再利用这三点位置和清晰度函数的值模拟成 Gaussian 曲

线。找到 Gaussian 曲线最大值对应的位置，重复以上的操作，直到

要把以 Gaussian 曲线拟合形式为：以 Gaussian 曲线的最大值对应

的镜头位置坐标为原点，两边步长相等的位置对应清晰度评价函数

的值基本一致，即自动聚焦结束。

关键词：自动聚焦；评价函数；

；步长；三点高斯拟合曲线

get the definition evaluation function value，simulate the Gaussian curve.

3.Under the environment of MATLAB ， three point fitting Gaussian

lengths corresponds to the definition evaluation function.，the end of auto