本科微电子学MEMS总结

本科微电子学MEMS总结 微电子学MEMS是指使用微电子学技术和微机械技术来设计、制造和集成微型机械系统的学科。它是现代科技的前沿领域，具有广泛的应用前景。 MEMS 的基本概念及其特点 MEMS 的基本概念是使用微电子学技术和微机械技术来设计、制造和集成微型机械系统。MEMS 的特点是小尺寸、高精度、低成本、低功耗、高速响应等。 MEMS 的发展概况 MEMS 的发展可以追溯到1947年，晶体管的发明提供了技术基础。1954年，Si、Ge 压阻效应的发现开启了MEMS 的发展。1966年机械研磨做硅腔，1970年各向同性腐蚀硅腔，1976年KOH 腐蚀，MEMS 加工手段不断完善。1980年代，集成式压力传感器问世。1990年代，美国 U.C. Berkeley 发明了表面牺牲层技术，微型静电马达成功，MEMS 进入新纪元。 MEMS 的应用领域 MEMS 的应用领域非常广泛，包括压力传感器、加速度计、陀螺仪、微型机器人、微型卫星、微型飞行器等。 MEMS 工艺的基本概念 MEMS 工艺的基本概念包括硅微加工技术、光刻技术、LIGA 技术、微机械装配与集成等。这些技术的发展使得MEMS 设备的制造和集成变得更加快速和高效。 MEMS 的国内发展 在国内，清华大学等高校从20世纪90年代初开始研究MEMS。目前，有100个左右的研究小组从事MEMS 研究，主要领域包括硅微传感器、硅微致动器、硅微加工技术、微系统等领域。主要加工基地有信息产业部电子13所，北大微电子所，清华大学微电子所，上海交通大学和上海冶金所等。兵器工业在山西省长治市304厂投资MEMS生产线，在安徽省蚌埠市214所投资MEMS生产线，今年底正式投产。 MEMS 的研究方向 MEMS 的研究方向主要包括MEMS 器件及系统、纳机电器件基础研究、微系统集成技术、动态测试技术等。其中，MEMS 器件及系统包括微惯性器件的设计与仿真、微气体检测传感器设计、加工及制造等。纳机电器件基础研究是指对纳机电器件的基础研究，包括纳米尺度的机械、电子和光学研究等。微系统集成技术是指将微系统集成到一个芯片上，包括厚膜混合集成及MIMU等。动态测试技术是指对MEMS 设备进行动态测试的技术。