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激光雷达
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创新 用心 中国芯
1.提案编号
:
(提交之后给出编号)
2.提案名称
:
一种用于芯片工厂自动物料搬送系统OHT小车集
成激光雷达定位方法
3.技术分类
:
Others:IT- Others:Program,System
4.发 明 人:
F100658,袁凯超/F100523,尹浩/F100557,周
斌兵/F100680,袁菲/F100611,沈国梁
5.提案部门
:
Operation&Engineering
Management/IT/CIM
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Background Information(背景信息)
(1) Issue or Problem Statement (问题描述)
半导体制造是现存最为复杂的的制程之一,典型的半导体晶圆厂制造包含数百个操作、使用数百台机器,需要
反复的加工步骤,复杂的流程同时增加了在制造过程中管理晶圆的的生产、运输和储存的复杂性,传统人力在
产线设备间的物料搬运,已经成为制约生产效率和生产质量的瓶颈。
在半导体制造厂内,通常使用天车系统(AHMS)来进行晶圆的传输,其中每个天车的定位显得十分重要。
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(2) Current Practice or Prior Art (现有技术)
现有技术:在半导体工厂内,通常用自动化物料搬送系统(AMHS)来提升生产效率和产品良率,其中空中
小车(OHT)的定位极其关键。
现有技术:通过反射传感器和轨道上的条形码配合完成定位。
现有技术缺点:
1、但是在实际使用过程中,反射传感器对环境的适应性比较差,而且需要扫取大量的条形码,降低了中
央控制器获取天车的实时位置信息的效率,进而影响搬运效率。
2、平均每座半导体厂(fab)需安装大约5000个轨道条形码,轨道条形码的安装作业主要经历打印制作、
定位、安装固定三个步骤,上述三个步骤均为人力完成,其中,定位、安装固定需多名人员协同作业,
安装固定需登高作业,占用大量人力、物力资源并耗费大量时间。
3、轨道上的条形码时间长可能会造成褶皱、脱落等物理现象。
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yuakaichao
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