《半导体器件应用基础:半导体器件-光电器件(2).ppt》主要讲解了光电器件中的电荷耦合器件(Charge-coupled Device,简称CCD)及其在图像传感器中的应用。CCD作为一种重要的半导体器件,既可以用作图像传感器,也可以作为移位寄存器。在图像阵列系统中,例如照相机和摄像机,它能同时完成图像捕捉和信号传输的功能。
CCD的结构类似于移位寄存器,由栅、半透明金属、多晶硅和硅化物等组成,每个像素的尺寸小于10微米。根据材料的不同,如Si、HgCdTe、InSb,CCD可以有不同的应用特性。CCD的独特之处在于,它在光照下不会立即产生直流光电流,而是将光生载流子聚集形成电荷包,然后存储、传输和检测这些电荷包。CCD的工作原理基于MIS(Metal-Insulator-Semiconductor)电容,通过高栅脉冲在非平衡状态下操作。
当CCD曝光于光线时,光生电子会被聚集在势阱中,形成一个内部量子效率接近100%的区域。电荷包的大小受到最大电荷密度的限制,通常约为10^11/cm²。因此,一个10微米²的CCD可以存储10^5个载流子,最小可探测信号约20个载流子,从而获得较大的动态范围(约10^4)。
暗电流是影响CCD性能的一个重要因素,尤其是在长时间曝光或检测微弱信号时。为了延长积分时间并降低暗电流的影响,有时需要对设备进行冷却。在曝光结束后,电荷通过CCD移位寄存器转移到放大器,实现信号的读出。
CCD的电荷转移机制主要包括热扩散、自感应漂移和边缘场效应。在不同的电荷量和频率条件下,这些机制起着不同程度的作用。时钟信号的频率受到电荷转移完成时间、热驰豫时间和信号频率的限制,过高或过低的频率都会影响CCD的性能。
此外,文档还提到了CMOS图像传感器,虽然在早期CCD在消费级成像产品中占据主导地位,但自上世纪90年代末,CMOS图像传感器因其集成度高、功耗低和成本优势逐渐成为市场的主流。
本文件主要涵盖了CCD的工作原理、结构、性能特点以及与CMOS图像传感器的对比,深入解析了光电器件在半导体领域的关键作用。