没有合适的资源?快使用搜索试试~
我知道了~
文库首页
硬件开发
单片机
光刻+纳米压印+最新技术
光刻+纳米压印+最新技术
需积分: 0
2 下载量
75 浏览量
2023-11-08
12:26:31
上传
评论
收藏
804KB
PDF
举报
温馨提示
立即下载
纳米压印光刻的前沿进展
资源推荐
资源评论
使用纳米压印光刻技术和低压热粘合方法制造尺寸可控的SU-8纳米通道
浏览:141
使用纳米压印光刻技术和低压热粘合方法制造尺寸可控的SU-8纳米通道
GaN纳米结构的大规模制备和发光特性的软UV固化纳米压印光刻技术
浏览:40
GaN纳米结构的大规模制备和发光特性的软UV固化纳米压印光刻技术
两项颇有希望的纳米光刻技术
浏览:165
两项颇有希望的纳米光刻技术
GaN纳米结构的大规模制备和发光特性的软紫外固化纳米压印光刻技术
浏览:13
GaN纳米结构的大规模制备和发光特性的软紫外固化纳米压印光刻技术
纳米压印光刻技术的研究与发展 (2013年)
浏览:88
介绍纳米压印光刻技术的研究现状和发展状况,分析常用的热压印(Hot Emboss-ing Lithography,HEL)、紫外固化压印(Ultra Violet Nanoimprint Lithography,UV-NIL)及微接触压印(Micro Contact Printing,μ-CP)三种光刻的工艺过程。探讨纳米压印光刻方法的优缺点及影响压印图形质量的主要因素,旨在加深对纳米压印光刻工艺
应用传统紫外光刻机进行紫外压印
浏览:78
1999年,美国得克萨斯州大学的研究小组提出一种在室温、低压环境下利用紫外光固化聚合物的紫外纳米压印技术,业已成为纳米压印技术研究的主要方向[l-2]。通过对该技术的研究,我们筛选了一种较为适合紫外压印技术的...
基于纳米压印技术制备200nm周期金自支撑透射光栅 (2009年)
浏览:19
采用纳米压印技术作为制备亚微米周期光栅图案的核心技术,并结合反应离子刻蚀,电子束蒸镀,微电镀,紫外光刻,湿法刻蚀成功制作了面积为5 mm×8 mm、周期为200 nm、占空比近1∶1的大面积金自支撑透射光栅。...
室温纳米压印光刻技术制造TiO2亚波长相位延迟器
浏览:163
室温纳米压印光刻技术制造TiO2亚波长相位延迟器
纳米器件的一种新制造工艺——纳米压印术
浏览:17
随着电路中器件尺寸的不断变小,光学光刻技术将接近其物理极限。现今流行的光刻工艺中所用的紫外光波长为250 nm左右,要想制造比这一尺度的一半小得多的图形结构,衍射效应将使图形的各部分特征混在一起而模糊...
公司分析-太平洋-苏大维格300331.SZ纳米压印光刻龙头,多维业务齐头并进.pdf
浏览:99
公司分析-太平洋-苏大维格300331.SZ纳米压印光刻龙头,多维业务齐头并进.pdf
纳米压印技术在绿色LED中制备银纳米颗粒六边形阵列及其效果
浏览:149
纳米压印技术在绿色LED中制备银纳米颗粒六边形阵列及其效果
基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究
浏览:90
提出了一种基于二维光栅叠栅效应的纳米光刻对准方法,用于接近式光刻实现二维同步对准。该方法采用两组周期接近的二维光栅重叠产生一组周期分布的叠栅条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,将光栅间的位移反应在条纹的相位信息中。利用二维光栅在傅里叶频谱中x、y 向相互独立的频谱分布,通过傅里叶变换对正交叠栅条纹横纵两个方向上的相位信息进行解析,可实现高精度二维同步对准。建立了双二维Ronchi光栅对准
纳米压印技术制备Si基GaN纳米柱图形化衬底 (2014年)
浏览:102
采用纳米压印和反应离子刻蚀技术,通过实验研究反应离子刻蚀时间与GaN纳米柱高度的相关性,成功地在Si基GaN衬底上制备出了GaN纳米柱图形化衬底。SEM表征分析发现在图形化衬底上所制备的GaN纳米柱形貌均匀、排列整齐;室温光致发光光谱分析发现GaN纳米柱图形化衬底与GaN材料相比带边发光峰出现2.1nm的红移,发光强度增强。研究结果表明GaN纳米柱内应力得到释放且具有光子晶体的作用。
反应离子刻蚀法制备石英纳米压印模板的工艺研究 (2012年)
浏览:196
为了使用紫外纳米压印法制备出亚波长结构,研究了在石英衬底上采用光刻和反应离子刻蚀技术制备出紫外纳米压印模板,以及模板制备过程中工艺参数对光刻胶和刻蚀速率的影响。利用激光共聚焦显微镜(LSCM)及原子力显微...
基于硫醇-烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺
浏览:174
基于硫醇-烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺,刘楠,金鹏,应用紫外纳米压印技术结合反应离子刻蚀技术制作石英玻璃基底上微结构光学元件是一种低成本、高效率、高分辨力的加工方法。光刻胶
通过纳米压印的M形光栅:具有纳米间隙的可复制的大面积高活性等离子表面增强拉曼散射基板。
浏览:45
开发了一种基于室温纳米压印光刻和各向异性React离子刻蚀的技术来制造此器件,该器件具有成本效益,可靠且适合于制造大面积纳米结构。 为了说明该设备的潜在应用,M光栅被用作探测罗丹明6G分子的SERS衬底。 实验上...
压印工作台的纳米级自找准定位研究 (2003年)
浏览:16
针对分步压印光刻工艺超高精度的对准要求,论述了一套由光栅、驱动器及激光干涉仪构成的闭环超高精度自对准定位系统。为了消除外界干扰引起的激光干涉仪误差对整个系统精度的影响,系统采用粗精两组光栅和相应两组...
涂有金属和金属-介电-金属薄膜的超细线和空间聚合物纳米光栅的光学性质
浏览:145
贵金属和金属介电金属超薄膜沉积在超细聚合物纳米光栅的表面上,该纳米光栅是使用纳米压印光刻技术制造的。 实验结果表明,沉积在平坦和波纹状聚合物表面上的单金属膜和三重金属-介电金属膜的表面形貌存在显着差异。...
快速制造用于纳米压印光刻的TiO2硬模
浏览:141
快速制造用于纳米压印光刻的TiO2硬模
基于纳米压印技术的单片集成可调谐光子集成芯片
浏览:17
随着互联网的快速发展,人们对接入带宽的需求越来越大,光纤通信技术随着互联网的发展逐步进入接入网领域。基于波分复用无源光网络(WDM-PON)的接入网技术是满足传输网络带宽需求急剧增加的最佳解决方案。光网络单元(ONU)是WDM-PON的关键组成部分之一,而其成本直接影响着WDM-PON的发展。 武汉光迅科技股份有限公司光电集成研究部与华中科技大学刘文课题组合作利用纳米压印技术和对接生长技术,完成了
纳米压印技术在LED器件制备中的应用
浏览:13
纳米压印技术(NIL)是一种机械制备纳米图形的微加工技术,它具有设备简单、易于操作、重复性好和成本低等优点。同时,它可以大面积制备高分辨率的纳米图形,使得大批量低成本地生产微纳器件成为可能。而固态照明工程目前是被全世界所关注的重要领域,制备出高效III-V化合物半导体发光二极管(LED)来代替现有的传统照明工具已经掀起了照明技术的革命,以实现高质量、绿色的照明。重点介绍了纳米压印技术的发展和工艺过
纳米压印技术PPT学习教案.pptx
浏览:43
纳米压印技术PPT学习教案.pptx
基于复合纳米压印技术的SERS衬底的制备
浏览:84
基于复合纳米压印技术的SERS衬底的制备,杨涛,傅欣欣,本文描述了一种高效,快捷制备高质量的表面增强拉曼散射(SERS)衬底的方法。采用复合纳米压印技术可以从多孔氧化铝(AAO)模板复�
覆有金属和金属-介电-金属薄膜的超细线和空间聚合物纳米光栅的光学性质
浏览:121
贵金属和金属介电金属超薄膜沉积在超细聚合物纳米光栅的表面上,该纳米光栅是使用纳米压印光刻技术制造的。 实验结果表明,沉积在平坦和波纹状聚合物表面上的单金属膜和三重金属-介电金属膜的表面形貌存在显着差异。...
一种基于空间光调制器的微透镜阵列制备技术
浏览:143
提出了一种基于空间光调制器的并行光刻制备...得到的微透镜阵列模版经过电铸转移为金属模具,利用紫外卷对卷纳米压印技术在柔性基底上制备微透镜阵列器件,在超薄液晶显示、有机发光二极管(OLED)照明等领域有广泛应用。
硅光子计数探测器推动新一代成像技术
浏览:136
在纳米压印光刻技术中,重复使用一 个模版大批量的压印预定形状的晶圆。在终的沉积工序之后,晶圆既可以依尺寸切成方块,也可以再利用压印技术制备其它的功能层。 以前,光子计数器建立在三种不同技术平台上。...
电子测量中的硅光子计数探测器推动新一代成像技术
浏览:143
在纳米压印光刻技术中,重复使用一 个模版大批量的压印预定形状的晶圆。在最终的沉积工序之后,晶圆既可以依尺寸切成方块,也可以再利用压印技术制备其它的功能层。 以前,光子计数器建立在三种不同技术平台上。...
锂离子电池锂电资料技术论文文档资料50个合集.zip
浏览:111
5星 · 资源好评率100%
使用纳米压印光刻与柔性模具的锂离子电池的硅纳米柱阳极.pdf 全球电池市场2011-2025The_worldwide_battery_market_2011_2025-复制.pdf 天津国安盟固利年增产 8000 吨锂 离子电池正极材料项目 环境影响报告书.pdf ...
评论
收藏
内容反馈
立即下载
资源评论
资源反馈
评论星级较低,若资源使用遇到问题可联系上传者,3个工作日内问题未解决可申请退款~
联系上传者
评论
曼飞-工作
粉丝: 0
资源:
1
私信
上传资源 快速赚钱
我的内容管理
展开
我的资源
快来上传第一个资源
我的收益
登录查看自己的收益
我的积分
登录查看自己的积分
我的C币
登录后查看C币余额
我的收藏
我的下载
下载帮助
前往需求广场,查看用户热搜
最新资源
文档.docx
xml文件编辑整理工具
端午节相关的活动主页H5
Viewer.js v1.11.0
java stomp订阅
Viewer.js v1.11.0
异位最终机器学习矩阵.zip
社区团购商城小程序前端源码
Security认证组件,仿若依,几乎纯代码
QuestionWechatApp-master.zip
资源上传下载、课程学习等过程中有任何疑问或建议,欢迎提出宝贵意见哦~我们会及时处理!
点击此处反馈
安全验证
文档复制为VIP权益,开通VIP直接复制
信息提交成功