纳米压印技术在LED器件制备中的应用

纳米压印技术（NIL）是一种机械制备纳米图形的微加工技术，它具有设备简单、易于操作、重复性好和成本低等优点。同时，它可以大面积制备高分辨率的纳米图形，使得大批量低成本地生产微纳器件成为可能。而固态照明工程目前是被全世界所关注的重要领域，制备出高效III-V化合物半导体发光二极管（LED）来代替现有的传统照明工具已经掀起了照明技术的革命，以实现高质量、绿色的照明。重点介绍了纳米压印技术的发展和工艺过程，并详细论述纳米压印技术在无机和有机LED制备中的应用，实现纳米结构LED以及表面光子晶体结构，从而提高LED的发光效率。