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高精度动态白光干涉测量方法 白光干涉测量技术是一种高精度非接触式测量方法，广泛应用于材料科学、航空航天、天文望远镜、芯片、微机械、微光学等多种领域的加工制造与科学研究。在白光干涉测量技术中，通常需要确保干涉信号的采样间隔相等，才能较好地复原出待测形貌。但是，在实际的测量过程中，现场环境以及光机结构的振动会引入随机的倾斜相位，导致同一帧干涉图中每个像素点的采样间隔都会产生随机的变化，使得白光干涉信号发生畸变，造成零光程差位置的定位不准确，从而无法获取正确的待测件形貌信息。 为了解决白光干涉测量技术对环境振动的敏感性问题，研究人员提出了一些白光干涉抗振动测量的解决方法。动态垂直扫描干涉测量方法（DVSI）是一种解决方案，该方法将白光干涉光路分为两个成像通道，得到与白光干涉图同步移相的准单色光干涉图。通过相位-倾斜迭代方法（PTI）对准单色光干涉图进行处理，得到实际的移相扫描位置，对白光干涉信号进行相干峰位置的定位，并计算出粗糙的形貌分布。之后利用局部最小二乘方法（LLS）计算出精细的相位分布，将粗糙形貌以及精细相位相结合来复原出待测件的三维形貌。 DVSI 方法的原理是将白光干涉光路分为两个成像通道，每个通道都可以生成准单色光干涉图。通过相位-倾斜迭代方法对准单色光干涉图进行处理，得到实际的移相扫描位置，对白光干涉信号进行相干峰位置的定位，并计算出粗糙的形貌分布。然后利用局部最小二乘方法计算出精细的相位分布，将粗糙形貌以及精细相位相结合来复原出待测件的三维形貌。 DVSI 方法的优点是可以抗振性能良好，能够有效地抵御环境振动的影响。该方法已经通过数值仿真和实验对比进行了验证，结果表明该方法具有较好的抗振性能。因此，DVSI 方法可以广泛应用于工业环境的在位测量中，解决白光干涉测量技术对环境振动的敏感性问题。 在 DVSI 方法中，相位-倾斜迭代方法（PTI）是一种重要的处理步骤。该方法可以对准单色光干涉图进行处理，得到实际的移相扫描位置，对白光干涉信号进行相干峰位置的定位。PTI 方法的原理是基于相位-倾斜迭代算法，该算法可以对准单色光干涉图进行处理，得到实际的移相扫描位置。 局部最小二乘方法（LLS）也是 DVSI 方法中的一个重要步骤。该方法可以计算出精细的相位分布，将粗糙形貌以及精细相位相结合来复原出待测件的三维形貌。LLS 方法的原理是基于最小二乘算法，该算法可以计算出精细的相位分布。 DVSI 方法是一种高精度动态白光干涉测量方法，该方法可以抗振性能良好，能够解决白光干涉测量技术对环境振动的敏感性问题。该方法已经通过数值仿真和实验对比进行了验证，结果表明该方法具有较好的抗振性能。因此，DVSI 方法可以广泛应用于工业环境的在位测量中。