激光微分共焦超长焦距测量

提出了一种新的激光微分共焦焦距测量方法，用于超长焦距的测量。 提出的方法利用了轴向强度曲线的特性，即绝对零精确地对应于微分共聚焦系统（DCFS）中物镜的焦点，以测量有无超长焦距下DCFS焦点位置的变化。长透镜（UFL），利用两个焦点之间的距离来获得UFL焦距，从而实现超长焦距的精确测量。 该方法聚焦精度高，抗干扰能力强，测量光路短。 理论分析和初步实验结果表明，该方法用于后焦距（BFD）的测量时，相对测量误差约为0.01％。