高频振动时效消除聚合物AZ4620光刻胶残余应力的研究

高频振动时效消除聚合物AZ4620光刻胶残余应力的研究，杨群峰，张琪，为研究高频振动时效消除AZ4620光刻胶薄膜残余应力的效果，实验首先搭建了用于样品轮廓测量的激光测量装置，组建了电动式高频振动系