为了进行MCP超薄防离子反馈膜的性能评价研究,并使这种膜层具有良好离子阻挡能力,利用电子束蒸发方法,在微通道板(MCP)输入面上制备一种超薄Al 2O3防离子反馈膜,其膜层厚度为2nm时仍连续致密。通过对Al 2O3防离子反馈膜的电子透过特性测试,给出2nm及4nm厚防离子反馈膜对应的死区电压分别约为150 V及200 V;利用Monte- Carlo法模拟分析了Al 2O3防离子反馈膜的离子阻挡特性,2 nm及4nm厚Al 2O3防离子反馈膜对碳离子等的阻挡率分别高于40 %及86 %,另外对有无膜的M
