欧姆龙 D6F-A5-A6 MEMS流量传感器手册.pdf

欧姆龙 D6F-A5-A6 MEMS流量传感器手册pdf,实现小型化最大50L/min流量域的高精度传感性能。可对10~50L/min的质量流量进行高精度检测，实现长30mmX宽78mmX高30mm的小型化。