MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应 (2005年)

从基于微机械光电系统( MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发,求解雷诺方程,得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式.通过求解动力学方程,给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.