蒸发氧化法制备高透过率ZnO薄膜

蒸发氧化法制备高透过率ZnO薄膜 ，李雪，程轶，本文采用热蒸发法在普通玻璃衬底上蒸镀Zn膜，利用低温氧化法制备出ZnO薄膜，并研究不同的氧化方法对ZnO薄膜的影响。采用X射线衍射（