准分子激光是20世纪70年代末到80年代出现的新型激光器。它的输出波长在紫外波段,具有脉冲能量高、光束均匀性好等优点,广泛应用于染料激光器的抽运源、激光光刻、激光退火和激光医疗等领域。
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