基于直接相位解调的双光纤法布里-珀罗位移传感器

条纹计数法的分辨率精度，而常用的高级外部差调频校准法（如相位差生成载波法，线性调频法），在光源调频过程中伴生有幅度调制和调制调制系统复杂。提出了一种基于双光纤光路相位偏移的法布里-珀罗（FP）位移传感器，原理上省去了光源调频过程，在提高检测精度的同时，成本与条纹计数法相当。位移测量实验结果表明，该传感器在0〜500μm的测量范围内，线性度为1.1％，误差界限为±3μm。