基于蓝宝石衬底的硅纳米线氨气传感器

基于蓝宝石衬底的硅纳米线氨气传感器，周畅，胡礼中，采用化学气相输运方法在蓝宝石衬底上制备了高密度的硅纳米线，通过扫描电子显微镜（SEM）对其形貌进行了表征。实验结果表明这种硅