基于硅纳米结构膜的酒精传感器

基于硅纳米结构膜的酒精传感器，吕扬，张贺秋，采用化学气相输运方法在蓝宝石衬底上制备了高密度硅纳米结构膜，通过扫描电子显微镜（SEM）对其形貌进行了表征。结果表明这种硅纳