氮化铝薄膜中的二次谐波产生

利用X射线衍射技术对用直流反应磁控溅射技术沉积在蓝宝石基底(100)晶面上的氮化铝(AlN)薄膜进行了晶体结构分析,对X射线衍射图样的分析结果表明