基于DDS技术驱动的精密直线超声电机 (2007年)

研制了一台新型直线超声电机，测定了电机的频率一速度关系、相位一速度关系。基于DDS技术设计的驱动器能产生两相可调频率、可调相位差及可调幅值的正弦信号。采用调相、调频综合控制方法，构建了直线超声电机驱动的全数字位置控制平台。该平台可达到5μm的定位精度。