高灵敏度APS CMOS图像传感器光谱探测技术研究

主动像元型(APS)互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的成像性能已经接近电荷耦合器件(CCD)的成像性能，在光谱成像领域有很好的应用前景。讨论了CMOS器件用于光谱探测的若干问题，建立了光谱成像系统的噪声模型并进行了实际噪声测试，分析了基于CMOS探测器的成像光谱仪的灵敏度水平；结合CMOS器件的结构和特性给出了图像的校正方法。搭建了包括光学、电子学的完整光谱成像系统，进行了光谱成像试验，验证了灵敏度分析和光谱校正方法。结果表明，CMOS探测器可以满足高光谱成像的灵敏度要求，可用于高光谱探测。