退火气氛对TiO2薄膜结构及性能的影响

退火气氛对TiO2薄膜结构及性能的影响，张平，孙翔宇，阻变存储器是一类新型非易失性存储器，具有功耗低、读写快、保持特性好、可小型化等特点。本文主要研究了采用脉冲激光沉积（PLD）