Fe掺杂对TiO2薄膜材料晶体结构转变的影响 (2011年)

应用直流磁控溅射方法并结合原位退火工艺，在普通玻璃基片上制备了不同Fe掺杂的TiO2薄膜，沉积过程中保持基底温度300℃．实验结果表明，退火氛围及Fe的掺杂量对TiO2薄膜的结晶状态、微结构及形貌都有很大影响．真空中500℃下退火0．5 h的Fe-TiO2薄膜样品表现为非晶态结构，而空气中500℃下退火0．5 h的该样品则结晶状态良好；随着Fe掺杂量的增加，TiO2薄膜样品逐渐由锐钛矿相向金红石相转变．