一种用于三阶压电驱动纳米定位平台的正速度-位置阻尼控制器设计

一种用于三阶压电驱动纳米定位平台的正速度-位置阻尼控制器设计 ，李琳琳，朱利民，本文以压电驱动纳米定位平台为研究对象，建立了一种基于正速度-位置反馈的阻尼控制器设计，从而实现压电驱动纳米定位平台的高带�