纳米运动精密压电陶瓷电机技术资料

纳米运动精密压电陶瓷电机，氧化铝驱动板连接电机指尖和工作台，提供所需的摩擦和延长产品寿命。传统PZT驱动器(-)行程限制(+)高分辨率(+)高频(+)开环操作•超声行波(-)低速(-)低力(-)主要旋转操作(-)昂贵(-)尺寸大(-)寿命短。真空应用:磁电机:(-)电机需要馈通连接(-)无固有制动•精密应用:磁电机:(-)响应时间慢(-)低速高速脉动(-)低刚度(+)高力(-)无固有制动(+) 【纳米运动精密压电陶瓷电机技术】 纳米运动精密压电陶瓷电机是一种先进的驱动技术，它利用压电陶瓷材料的特性实现微米至纳米级别的精确运动。这种电机在1992年由Nanomotion公司创立并发展，1996年进入市场，供应给美国、日本、欧洲以及其他地区的主要企业。Nanomotion是一家私营公司，专注于压电陶瓷电机的创新。 **压电效应** 压电效应分为直接效应和反向效应。直接效应将机械应力转化为电压，常见于麦克风和加速度计等设备中。反向效应则将电场转换为运动，常用于有限位移的驱动器和超声波换能器。 **Nanomotion电机的基本原理** Nanomotion电机基于超声驻波原理，通过同时激发弯曲模式和纵向模式，在电机指尖边缘产生运动。电机由静止的指针、压电陶瓷片和预加载力组成，压电陶瓷片在受到力或电压作用时，产生形变从而驱动滑块进行线性或旋转运动。 **技术亮点** 1. **宽动态速度范围**：从1微米到250毫米/秒。 2. **纳米级分辨率**：优于5纳米。 3. **高线性力**：每个元件可提供5牛顿的力。 4. **零停留时间**：快速响应，无需停顿。 5. **无限行程**：无物理行程限制。 6. **内置制动功能**：断电后保持当前位置。 7. **紧凑体积**：节省空间，减少系统复杂性。 8. **快速响应**：适合在洁净环境中运行。 **真空环境应用** Nanomotion电机可在实际的真空环境中运行，兼容超高真空条件（低至10^-10托），且完全非磁性，因此能在电子束设备附近安全工作。其紧凑的尺寸有助于减少真空腔体的大小和复杂性，无需馈通连接，便于集成。 **应用场景** 1. **旋转与线性运动**：包括多轴精密定位系统。 2. **显微镜**：微米及纳米级别的精细观察。 3. **打印机和绘图仪**：高精度的打印和绘图操作。 4. **扫描仪**：高速、高精度扫描。 5. **真空应用**：如半导体制造中的真空设备。 **控制系统与驱动器** Nanomotion电机可以与任何伺服PID电机控制器配合，例如ACS、MEI、Delta Tau和Galil等公司的产品。其驱动器与电机直接连接，简化了高精度应用的实施过程。 总结起来，纳米运动精密压电陶瓷电机以其独特的技术特点，如高分辨率、宽速度范围、快速响应和内置制动功能，成为各种精密应用的理想选择，特别是在需要极高精度和稳定性的真空环境中。其非磁性和紧凑设计进一步提升了其在微电子、光学和精密制造领域的应用价值。