硅微机械谐振器特性与激励光斑位置关系的研究

阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果。结果表明,谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关。在模态的两节点的中心位置进行激励,可得到最大的振幅,而且振幅随着激励光斑偏离中心位置而下降;在节点处激励时,振幅达到最小。上述结论也适用于其它点热源激励的微机械谐振器,并为点热源激励的微机械谐振器的设计和制作提供了依据。