高分子固体电解质与AL阳极键合性能研究

高分子固体电解质与AL阳极键合性能研究，吴常雄，刘翠荣，为了提高MEMS的封装技术，采用高分子固体电解质（PEO-LiClO4）与AL阳极键合的方法进行封装。通过对实验工艺参数的分析，键合电压和预�