基于硅模具的Zr基非晶合金微成形工艺研究 (2010年)

研究了利用硅模具进行微成形的热压工艺，针对超塑性成形Zr65 Cu17.5 Al10 Ni7.5非晶合金微零件过程进行分析，提出精确去除非晶合金飞边的方法，并采用质量分数为40%的KOH溶液（温度为80℃）腐蚀去除硅模具得到微型零件。利用该工艺成功制备出尺寸精度很高、模数为0.1mm、齿数为20、厚度为300μm的非晶态微型直齿圆柱齿轮。该工艺用于制备高性能非晶合金微型零件优势明显，尤其对于芯部是复杂结构的微型零件更具成形优势。