双重膜厚监控在中远红外光学镀膜工艺中的应用 (2007年)

为提高中远红外增透膜镀膜工艺中膜厚监控的精度,对石英晶振监控和光学极值法监控进行了对比研究,分析了两者的优缺点。通过对两种监控方法的结合,在镀膜工艺中应用一种新的薄膜厚度监控方法―双重监控法。该方法适合于监控中长波段红外光学薄膜的沉积,提高了膜厚监控的精度。