1兆位汉字ROM芯片研制取得新进展 (1991年)

我校微电子所承担的“七五”重点科技攻关任务“１～１．５ｕｍ成套工艺开发及相应水平大规模集成电路研制”于去年底取得了重大突破，获得了性能合格的１兆位汉字只读存储器芯片，后在中华学习机上试用，证明完全可以替代进口芯片。但当时得到的芯片数较少，工艺不够稳定，还谈不上有一定的合格率。针对这些问题，微电子所进行了全面的质量分析和工艺研究，明确需要攻克三大问题：①Ｐ型管穿通，②铝条刻蚀不稳定，③图形完整?...