激光共焦透镜轴向间隙测量方法

镜组内各透镜间的轴向间隙是光学系统装配中的一个重要参数。为精确测量镜组内各透镜间的轴向间隙，提出了一种激光共焦镜组间隙测量方法。该方法利用共焦光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性，使用环形激光共焦层析定焦技术对装配后镜组内各透镜表面的顶点位置进行高精度定位，并结合光学追迹方法精确计算各个透镜表面顶点之间的距离，继而得到镜组的轴向间隙。初步的实验表明该方法的重复性可达到0.3 μm 。