温度补偿对氮化铝(AIN)薄膜择优取向的影响 (2011年)

氮化铝(AlN)薄膜不同的择优取向直接影响其压电性和声波传递速度．本文通过改变衬底补偿温度对AlN薄膜的择优取向进行了研究．在正常实验溅射完成后继续通入氮气对衬底进行温度补偿．应用XRD和AFM对氮化铝薄膜的取向性和表面形貌进行表征分析，结果表明本实验制备出了较好的(002)面和(100)面取向的AIN薄膜，而且薄膜沉积均匀，比较致密．