微位移电容传感电路的噪声分析与实验研究 (2008年)

扭杆弹簧倾斜仪是一种结构简单的小型化倾斜仪，可监测地面微小倾斜，广泛应用于工程实践、地球物理和科学实验等诸多领域。本文描述了扭杆弹簧倾斜仪中电容传感电路的原理与构造，理论分析了电容传感电路的热噪声，对电容传感电路的噪声和慢漂特性进行了实验研究。实验结果表明电容传感电路的噪声水平约为0.6mV，折算位移测量的分辨率优于10-10m量级。