基于组分调节减小AZO表面等离子体损耗的研究

在蓝宝石衬底上制备了具有不同铝(Al)掺杂浓度的掺铝氧化锌(AZO)薄膜, 并对其进行了紫外-可见吸收光谱、霍尔效应、折射率及介电常数测试, 研究了Al组分对AZO薄膜的光电、表面等离子体性质的影响。随着Al组分浓度的逐渐增大, AZO薄膜吸收边发生蓝移且吸收强度逐渐减小, 光学损耗减小;同时, 载流子浓度与迁移率先增大后减小, 而电学损耗先减小后增大。