N型多孔GaAs的表面形貌，反射率和直流电学特性分析

N型多孔GaAs的表面形貌，反射率和直流电学特性分析，关健，刘维峰，本文主要介绍了多孔GaAs在不同溶液下的刻蚀机理与表面形貌差异，发现了HCL溶液中和HF溶液中刻蚀机理，刻蚀孔的孔径形貌有很大差别。