由三个压电陶瓷堆组成的干涉仪移相器的校正与标定

根据傅里叶变换原理,提出了一种对由三个压电陶瓷堆(PZT)组成的干涉仪移相器进行非线性及平行性校正与标定的方法。在对各个压电陶瓷堆进行非线性校正的基础上,利用干涉图像自动分析系统,综合分析各个压电陶瓷堆之间的牵制作用,从而得到对整体干涉仪移相器平行性校正的补偿依据。组建了一套卧式数字平面干涉仪,在干涉仪移相器承重6kg的情况下进行实验,非线性误差由12%校正至0.3%。由于干涉仪相移器承重而引起的移相过程中的条纹旋转降至2°,条纹间距变化小于2%。