高精度、大口径平面波像差标准——移相式数字平面干涉仪

VIP专享 2021-03-05 02:10:14 1.68MB PDF
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介绍研制成的一台移相式数字平面干涉仪,其孔径为Φ245 mm,用液面作基准标定并消除仪器的系统误差,准确度优于λ/50(峰谷值,λ=0.6328 μm)。利用计算机辅助干涉术,被测件口径可扩展到Φ500 mm。该仪器将用于建立高精度、大孔径平面波像差标准。文中阐述了光学干涉仪、移相器及精度校核等问题。

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