基于复合反馈式放大的压电倾斜镜驱动电源设计,闫智军,李晓峰,自适应光学中使用的倾斜反射镜能实现对波前扰动中整体倾斜的校正,压电倾斜镜驱动部件性能高低是影响压电倾斜镜控制性能的关键。
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