基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制* (2012年)

针对铂湿法刻蚀工艺，提出了间断性腐蚀法，并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比，结果显示该方法腐蚀铂曲线光滑、效果好。之后，以普通硅片作为衬底材料，二氧化硅作为隔热层，采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏传感器。经热敏性能测试，其电阻温度系数在20℃～80℃时为1571.2×10-6／℃；同一批次电阻阻值均匀性为0.35％；非线性度为0.57％；热时间常数为1.1 μs；在0.5 h的稳定性测试中其变化幅值为0.005 Ω，即精度为0.01％。该热敏传感器制作工艺简单，性能优异，可用于温度敏感、气