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Parallel fabrication of silicon concave microlens array by femto...
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2021-02-12
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A method of multi-beam femtosecond laser irradiation combined with modified HF-HNO3-CH3COOH etching is used for the parallel fabrication of all-silicon plano-concave microlens arrays (MLAs). The laser beam is split by a diffractive optical element and focused by a lens to drill microholes parallely on silicon. An HF-HNO3-H2SO4-CH3COOH solution is used to expand and polish laser-ablated microholes to form microlenses. Compared with the HF-HNO3-CH3COOH solution, the solution with H2SO4 can effecti
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