基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法研究 (2010年)

提出了一种基于光学干涉技术的MEMS薄膜泊松比在线测量方法。该方法采用直角悬臂梁作为测试结构，在上下两电极之间加上电压后，在静电力的作用下，与锚区相连的第一段直梁将发生弯曲变形和扭转变形。先由米劳干涉仪测得悬臂梁的变形，然后分离出形变中的弯曲分量和扭转分量，进而计算出薄膜材料的泊松比。用CoventorWare软件验证。结果显示该方法精度很高。