离子束作用下动态靶的计算机模拟 (1988年)

固体中离子传输和原子碰撞级联的计算机模拟程序ＴＣＩＳ已发展起具有模拟离子束作用下固体靶中成分动态演变的功能。本文详细介绍动态ＴＣＩＳ模拟程序的物理模型及计算方法，给出算例及有关问题的讨论。动态ＴＣＩＳ可以研究离子束轰击三元靶的复杂问题：如大剂量离子注入、择优溅射和界面混合等。