气相法沉积PTFE薄膜及其疏水性 (2014年)

分别以载玻片、陶瓷片、镀铝聚酯膜、普通白纸和Cu片为基底，聚四氟乙烯(PTFE)粉末为原料，采用电子束蒸发法沉积聚合物薄膜。对于基底载玻片和陶瓷片，采用2％H2SO4溶液刻蚀预处理后在其上沉积厚度为125 nm的聚合物薄膜；Cu片用不同浓度草酸刻蚀预处理后在其上沉积厚度为62 nm的聚合物薄膜；而基底镀铝聚酯膜和白纸，直接在其上沉积不同厚度的PTFE薄膜。通过傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、原子力显微镜(AFM)、接触角测量仪分别对薄膜的成分、表面形貌和疏水性进行表征。结果表明：经刻蚀处理后，基底表面