提出一种考虑全柔性单元复杂变形的平面柔性机构刚度分析方法，除将底座视为刚性单元外，其余全部视为柔性单元，然后根据力平衡方程即可得到机构整体刚度．该方法综合考虑了各柔性单元在各向的变形，使得分析结果更接近实际情况，同时避免了其他方法需要单独处理的柔性单元与刚性单元的位移协调问题，可大大减少计算量，应用多种方法对一种微位移放大模块的刚度进行了研究．全柔性单元法的分析结果更接近ANSYS仿真结果，并表明机构的整体刚度K与动力臂和阻力臂的比值有关，两者相等时近似取得最小值，为刚度与阻力臂的关系曲线拐点，分析结果对
